ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡
最終更新日：2024年10月1日
| 設備ID | HK-305 |
|---|---|
| 分類 |
走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 表面分析（深さ方向元素分析を含む） > |
| 設備名称 | ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡 (Schottky Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM)) |
| 設置機関 | 北海道大学 |
| 設置場所 | 工学研究院 全学共同利用施設 ナノ・マイクロマテリアル分析研究室 |
| メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JSM-7200F |
| キーワード | 表面分析 エネルギー分散型X線分光(EDS) インレンズ型 TTL検出器 |
| 仕様・特徴 | 加速電圧：0.01-30kV 分析機能：EDS 像分解能：1.6nm (1kV)、 1.0nm (20kV) 試料移動範囲：X: 70mm Y: 50mm Z: 2~41mm |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=HK-305 |
