ショットキー電界放出型走査電子顕微鏡（JSM-7001F）
最終更新日：2024年6月7日
| 設備ID | NM-226 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 設備名称 | ショットキー電界放出型走査電子顕微鏡（JSM-7001F） (Schottky FE-SEM (JSM-7001F)) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS千現地区 精密計測実験棟 112室 |
| メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JSM-7001F |
| キーワード | 表面の形状観察、元素分析、結晶方位及び結晶サイズ評価、格子歪評価解析など |
| 仕様・特徴 | ・加速電圧：0.5～30 kV ・二次電子像分解能：1.2 nm （加速電圧30 kV）、3.0 nm （加速電圧1 kV） ・倍率：10～1百万倍 ・最大試料サイズ：φ100 mm ・反射電子検出器搭載 ・加熱ステージ（最高1000℃） ・EDS付属（JED-2300） ・EBSD：TSL OIM ・格子歪み測定プログラムCrossCourt Ver.3、Ver.4+ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NM-226 |
