X線光電子分光分析装置（XPS-Quantera SXM）
| 設備ID | NM-225 |
|---|---|
| 分類 | 状態分析（各種分光法（元素分析・振動モード・電子状態）を含む） > X線光電子分光 （XPS（硬X線を含む）） |
| 装置名称 | X線光電子分光分析装置（XPS-Quantera SXM） (XPS (Quantera SXM)) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS 千現地区 精密計測実験棟 124室 |
| メーカー名 | アルバック・ファイ (ULVAC-PHI) |
| 型番 | QuanteraSXM |
| キーワード | 対象試料：無機・有機物 分析用途： ・電子状態解析 ・定性・定量分析 |
| 仕様・特徴 | ・走査型単色Al Kα集束X線源 ・最小X線ビーム径：9µm ・X線源パワー：1～50 W ・エネルギー分解能：＞0.5 eV（Ag 3d5/2) ・最大試料サイズ： 60 x 60 x 5 mm |
