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薄膜X線回折装置_Cu

設備ID NM-216
分類 回折・散乱 > X線回折
装置名称 薄膜X線回折装置_Cu  (TF-XRD_Cu)
設置機関 物質・材料研究機構 (NIMS)
設置場所 NIMS並木地区 MANA棟 401室
メーカー名 リガク (Rigaku)
型番 SmartLab
キーワード 微細構造の分析
仕様・特徴 ・薄膜測定
・小角散乱測定
・X線反射率
    薄膜X線回折装置_Cu
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