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薄膜X線回折装置_Cu
設備ID
NM-216
分類
回折・散乱 > X線回折
装置名称
薄膜X線回折装置_Cu (TF-XRD_Cu)
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設置場所
NIMS並木地区 MANA棟 401室
メーカー名
リガク (Rigaku)
型番
SmartLab
キーワード
微細構造の分析
仕様・特徴
・薄膜測定
・小角散乱測定
・X線反射率
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