原子間力顕微鏡
設備ID | NU-264 |
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分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型プローブ顕微鏡 |
装置名称 | 原子間力顕微鏡 (Atomic force microscope) |
設置機関 | 名古屋大学 |
設置場所 | 先端技術共同研究施設 |
メーカー名 | パーク・システムズ (Park Systems) |
型番 | NX20 |
キーワード | 表面形状分析 磁区構造分析 静電気力分析 電流マッピング 粘弾性マッピング |
仕様・特徴 | ・スキャン領域:XY方向100µm,Z方向15µm ・試料サイズ:最大200mmφ-20mmt ・測定モード AFM,MFM,EFM,LFM,FMM,C-AFM,ナノリソグラフィ |