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原子間力顕微鏡

設備ID NU-264
分類 走査型顕微鏡 > 走査型プローブ顕微鏡
装置名称 原子間力顕微鏡 (Atomic force microscope)
設置機関 名古屋大学
設置場所 先端技術共同研究施設
メーカー名 パーク・システムズ (Park Systems)
型番 NX20
キーワード 表面形状分析
磁区構造分析
静電気力分析
電流マッピング
粘弾性マッピング
仕様・特徴 ・スキャン領域:XY方向100µm,Z方向15µm
・試料サイズ:最大200mmφ-20mmt
・測定モード AFM,MFM,EFM,LFM,FMM,C-AFM,ナノリソグラフィ
    原子間力顕微鏡
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