高分解能走査型電子顕微鏡
| 設備ID | NU-263 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 装置名称 | 高分解能走査型電子顕微鏡 (High resolutiion scanning electron microscopy) |
| 設置機関 | 名古屋大学 |
| 設置場所 | 先端技術共同研究施設 |
| メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JSM-IT800 |
| キーワード | 表面形状分析 セミインレンズ 組成分析 |
| 仕様・特徴 | ・加速電圧：0.01kV～30kV ・ステージバイアス電圧：0〜-5kV ・分解能：0.5nm(15kV)，0.7nm(1kV) ・倍率：～2,000,000 ・最大試料サイズ：170mmφ x 45mm ・EDS分析元素範囲：Be〜Cf |
