精密研磨装置PM-6
最終更新日：2024年4月4日
| 設備ID | UT-916 |
|---|---|
| 分類 | 組立・パッケージング > 研磨(化学、機械) |
| 設備名称 | 精密研磨装置PM-6 (C.M. Polisher) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 武田先端知クリーンルーム3 |
| メーカー名 | ロジテック (Logitec) |
| 型番 | PM-6 |
| キーワード | 研磨 ラッピング |
| 仕様・特徴 | 化学研磨装置 対象物を精密に研磨する装置。研磨剤によって、高速に粗く削る（ラッピング）ことも、低速に平坦性を確保する（ポリッシング）ことも可能。4”丸型ウエーハまで研磨可能。 回転機構：1軸タイプ 最大サンプル径：4インチ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=UT-916 |
