全反射蛍光X線分析装置TXRF-3760
最終更新日：2024年4月4日
| 設備ID | UT-862 |
|---|---|
| 分類 | 状態分析（各種分光法（元素分析・振動モード・電子状態）を含む） > その他 |
| 設備名称 | 全反射蛍光X線分析装置TXRF-3760 (Total internal reflection fluorescence X-ray analyzer) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | |
| メーカー名 | （株）リガク (Rigaku Corporation) |
| 型番 | TXRF 3760 |
| キーワード | 元素分析 汚染物質解析 |
| 仕様・特徴 | ウェーハ表面上の汚染を非破壊・非接触で高感度に分析。 液体窒素フリー検出器を備えた3ビームTXRFシステム。 ナトリウムからウランまでの元素検出が可能。 解析に時間と経験を要するため、当面技術代行（代行料が上乗せになる）にての公開。 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=UT-862 |
