2インチ3元電子線蒸着装置
| 設備ID | UT-715 |
|---|---|
| 分類 | 成膜装置 > 蒸着(抵抗加熱、電子線) |
| 装置名称 | 2インチ3元電子線蒸着装置 (2-inch 3-target Electron Beam (EB) Evaporator) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 武田先端知クリーンルーム2 |
| メーカー名 | アルバック (ULVAC) |
| 型番 | BB7873 |
| キーワード | 電子線（EB）蒸着 |
| 仕様・特徴 | ウエーハサイズ2インチもしくはそれ以下のチップサンプルに対応可能。一般的なEB蒸着装置です。ロードロックを備えており、試料交換時間が短い。到達真空度は10E-5 Pa台。膜厚計、試料加熱ランプあり。 |
