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多機能電界放出型透過電子顕微鏡

最終更新日:2024年4月4日
設備ID UT-012
分類 透過電子顕微鏡 > 走査型透過電子顕微鏡
設備名称 多機能電界放出型透過電子顕微鏡 (Multipurpose Analytical field emission transmission electron microscope,)
設置機関 東京大学
設置場所 東京大学浅野キャンパス工学部9号館
メーカー名 日本電子株式会社 (JEOL Ltd.)
型番 JEM-F200
キーワード 分析電子顕微鏡
高分解能電子顕微鏡
電子線回折像
元素分析
電子エネルギー損失分光
エネルギー分散型X線分光
STEM
TEM
EDS
EELS
仕様・特徴 □ 主な特長
最新のオペレーティングシステムを採用。電子顕微鏡、CMOSカメラ、EDS、EELSを1つのシステムで操作が可能。
□ 主な仕様
・分解能:走査透過像 0.16nm,透過像(粒子像) 0.23nm
・倍率:走査透過像×100~×150,000,000 TEM像×500~×20,000,000
・ 電子銃:冷陰極電界放出形電子銃搭載 加速電圧 200kV・80kV
・ 試料系:試料傾斜 X軸±27゜Y軸±30゜
・ 分析:高感度のSDD検出器2本同時搭載、EELS検出器を装備
・ 非暴露冷却ホルダー対応
設備状況 稼働中
本設備の利用事例 https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=UT-012
    多機能電界放出型透過電子顕微鏡
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