ショットキー走査型電子顕微鏡
| 設備ID | UE-022 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 装置名称 | ショットキー走査型電子顕微鏡 (Scanning Electron Microscope) |
| 設置機関 | 電気通信大学 |
| 設置場所 | 東6号館1F101 |
| メーカー名 | 日立 (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | SU 5000 |
| キーワード | ショットキー、SEM、走査型電子顕微鏡/ Scanning electron microscopy |
| 仕様・特徴 | 加速電圧: 0.5～30kV（0.1kVステップ）、二次電子像分解能：1.2nm（加速電圧30kV, WD=5.0mm） |
