住友精密PECVD
| 設備ID | TU-153 |
|---|---|
| 分類 | 成膜装置 > 化学蒸着(CVD)装置 |
| 装置名称 | 住友精密PECVD (Sumitomo PECVD) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | 住友精密工業 (Sumitomo Precision Products) |
| 型番 | MPX-CVD |
| キーワード | 通常SiN専用 応力制御したSiN成膜が可能 SiO2、アモルファスSiも可能 |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：小片～8インチ 基板温度：最高350℃ |
