MEMS設計ツール（IntelliSuite）
最終更新日：2024年3月27日
| 設備ID | RO-132 |
|---|---|
| 分類 |
理論計算・シミュレーション > CAD 理論計算・シミュレーション > シミュレーション |
| 設備名称 | MEMS設計ツール（IntelliSuite） (MEMS design tools) |
| 設置機関 | 広島大学 |
| 設置場所 | 東棟 |
| メーカー名 | インテリセンス (IntelliSense) |
| 型番 | IntelliSuite |
| キーワード | デバイス形状 プロセス手順チェック |
| 仕様・特徴 | 工程データ、フローデータ、材料データ、2Dマスクデータ、3Dモデルデータの利活用に有効。 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=RO-132 |
