MEMS設計ツール（IntelliSuite）
| 設備ID | RO-132 |
|---|---|
| 分類 |
理論計算・シミュレーション > CAD 理論計算・シミュレーション > シミュレーション |
| 装置名称 | MEMS設計ツール（IntelliSuite） (MEMS design tools) |
| 設置機関 | 広島大学 |
| 設置場所 | 東棟 |
| メーカー名 | インテリセンス (IntelliSense) |
| 型番 | IntelliSuite |
| キーワード | デバイス形状 プロセス手順チェック |
| 仕様・特徴 | 工程データ、フローデータ、材料データ、2Dマスクデータ、3Dモデルデータの利活用に有効。 |
