10kV計測システム
| 設備ID | BA-027 |
|---|---|
| 分類 | デバイス特性 > 電気特性評価 |
| 装置名称 | 10kV計測システム (10kV Measurement System) |
| 設置機関 | 筑波大学 |
| 設置場所 | 総合研究棟B |
| メーカー名 | アポロウエーブ/テクトロニクス・ケースレーインスツルメンツ (Apollowave/Tektronics-Keithley) |
| 型番 | α150PW/2290-10, 2636B |
| キーワード | 超高電圧測定/ultra high voltage パワーデバイス/power device 電気特性評価/ Electrical characterization パワーエレクトロニクス/ Power electronics |
| 仕様・特徴 | 最大10kVの電圧印加によるリーク電流、耐圧測定 200V,1Aの汎用IV測定（SMU:4ch） 4端子デバイス測定 高温ステージ（最高300℃）のマニュアルプローバ（最大φ4インチ。5㎜□、φ2インチの吸着可） |
