分光エリプソメーター [UNECS-2000A]
最終更新日：2024年2月22日
| 設備ID | NM-663 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > エリプソメーター |
| 設備名称 | 分光エリプソメーター [UNECS-2000A] (Spectroscopic Ellipsometer [UNECS-2000A]) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS千現地区 材料信頼性実験棟102室 |
| メーカー名 | アルバック (ULVAC) |
| 型番 | UNECS-2000A |
| キーワード | エリプソメータ、膜厚測定、屈折率、薄膜、多層膜、エリプソメーター/ Ellipsometer |
| 仕様・特徴 | 1. 光源：ハロゲンランプ 2. 波長範囲：530～750 nm 3. スポット径：1mm 4. 入射角：70°固定 5. 試料サイズ：最大φ200mm |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NM-663 |
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