電子プローブマイクロアナライザ（EPMA）
| 設備ID | MS-236 |
|---|---|
| 分類 | 表面分析（深さ方向元素分析を含む） > 電子線プローブマイクロアナライザー(EPMA) |
| 装置名称 | 電子プローブマイクロアナライザ（EPMA） (Electron Probe Micro Analyzer) |
| 設置機関 | 自然科学研究機構 分子科学研究所 |
| 設置場所 | 分子研 山手地区 |
| メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JXA-8230 SS-94000SXES 軟X線分光器搭載 |
| キーワード | X線分析装置（WDS、SXES）による元素分析、組成マップ。分光範囲は、WDS:0.087～9.3 nm、SXES：50～210 eV。EDSオプションあり。加速電圧0.2～30 kVで、SEM像・BSE像の観察が可能。EPMA |
| 仕様・特徴 | 50 eVまでの低エネルギーを測定できる軟X線分光器（SXES）を搭載。 |
