デュアルビーム走査電子顕微鏡
| 設備ID | KT-408 |
|---|---|
| 分類 |
微小加工装置 > 集束イオンビーム（FIB） 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 装置名称 | デュアルビーム走査電子顕微鏡 (Dual Beam FIB-SEM) |
| 設置機関 | 京都大学 |
| 設置場所 | 超高分解能分光型電子顕微鏡棟6号室 |
| メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JIB-4700F |
| キーワード | 対象試料：無機物・有機物 用途：TEM試料作製 SEM-EDS分析 SEM-EBSD分析 走査型電子顕微鏡/ Scanning electron microscopy |
| 仕様・特徴 | 1.SEM装置(0.1～30kV) 2.FIB装置(1～30kV) 3.EDS検出器 4.EBSD検出器 5.クライオステージ 6.WとCのガス吹付装置 |
