段差計
設備ID | NU-261 |
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分類 | 膜厚・粒度測定 > 段差計 |
装置名称 | 段差計 (Surface profiler) |
設置機関 | 名古屋大学 |
設置場所 | ベンチャービジネスラボラトリ |
メーカー名 | 小坂研究所 (Kosaka Laboratory) |
型番 | ET200A |
キーワード | 段差計 |
仕様・特徴 | ・最大サンプルサイズ:φ160×厚さ52mm ・再現性 :1σ 0.3nm以内 ・測定範囲 :Z:600µm,X:100mm ・分解能 :Z:0.1nm,X:0.1µm ・測定力:10µN~500µN |