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アニール炉

設備ID	TU-106
分類	熱処理・ドーピング > 熱処理、レーザーアニール
装置名称	アニール炉 (Annealing)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名	東京エレクトロン (TEL)
型番	XL-7
キーワード	イオン注入後のアニールなど
仕様・特徴	サンプルサイズ：小片～6インチ

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