測長SEM
最終更新日：2023年6月14日
| 設備ID | TU-317 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 設備名称 | 測長SEM (CD-SEM) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | 日立ハイテク (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | CS4800 |
| キーワード | 微細構造の高精度自動測長 |
| 仕様・特徴 | 6、8インチは自動搬送、4インチ以下は手動搬送 計測再現性：1nm(3σ) |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-317 |
