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測長SEM

設備ID	TU-317
分類	走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡
装置名称	測長SEM (CD-SEM)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名	日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
型番	CS4800
キーワード	微細構造の高精度自動測長
仕様・特徴	6、8インチは自動搬送、4インチ以下は手動搬送計測再現性：1nm(3σ)