ウォーターレーザ
最終更新日：2023年6月14日
| 設備ID | TU-270 |
|---|---|
| 分類 |
膜加工・エッチング > レーザー加工 その他加工装置 > その他 |
| 設備名称 | ウォーターレーザ (Water laser) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2号館1F実験室 |
| メーカー名 | 澁谷工業 (Shibuya) |
| 型番 | LAMICS AQL-1900 |
| キーワード | シリコンウェハや金属薄板のくり抜き加工（ガラスなどの透明材料はNG） |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：小片～12インチ 最小加工線幅：約70μm |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-270 |
