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ウォーターレーザ

設備ID	TU-270
分類	膜加工・エッチング > レーザー加工その他加工装置 > その他
装置名称	ウォーターレーザ (Water laser)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 2号館1F実験室
メーカー名	澁谷工業 (Shibuya)
型番	LAMICS AQL-1900
キーワード	シリコンウェハや金属薄板のくり抜き加工（ガラスなどの透明材料はNG）
仕様・特徴	サンプルサイズ：小片～12インチ最小加工線幅：約70μm