自動搬送 芝浦スパッタ装置（冷却型）
最終更新日：2023年6月14日
| 設備ID | TU-161 |
|---|---|
| 分類 | 成膜装置 > スパッタリング（スパッタ） |
| 設備名称 | 自動搬送 芝浦スパッタ装置（冷却型） (Automatic Shibaura sputtering (Cooling)) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | 芝浦メカトロニクス (Shibaura Mechatronics) |
| 型番 | !-Miller CFS-4EP-LL |
| キーワード | ロボット搬送、ロードロック付きの自動処理スパッタ（基板水冷タイプ） 30種以上のターゲットを保有 リフトオフプロセス等の用途で、レジストなどポリマー導入OK |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：小片～8インチ サンプルステージ：直径220mm 基板温度：約20℃ 電源：RF×1 ターゲット：3インチ×4 方式：スパッタSIDE 到達真空度：8E-5Pa |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-161 |
