三次元形状測定機
最終更新日：2024年4月8日
| 設備ID | TT-032 |
|---|---|
| 分類 | 光学顕微鏡 > その他 |
| 設備名称 | 三次元形状測定機 (3D shape measuring machine) |
| 設置機関 | 豊田工業大学 |
| 設置場所 | 通常実験室 |
| メーカー名 | キーエンス (Keyence) |
| 型番 | VR-6200 |
| キーワード | 実体顕微鏡。mm立体上のμm微細構造を短時間で計測可能 バリ計測可能 |
| 仕様・特徴 | 計測精度（xy:0.5μm, z:0.4μm） 連結で最大300x150xH69mmまで計測 全周測定で断面形状を非破壊計測 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TT-032 |
