高分解能３次元X線顕微鏡
| 設備ID | SH-012 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型X線顕微鏡 |
| 装置名称 | 高分解能３次元X線顕微鏡 (３D X-ray Microscope) |
| 設置機関 | 信州大学 |
| 設置場所 | 信州大学 長野（工学）キャンパス 国際科学イノベーションセンター |
| メーカー名 | ツァイス (Zeiss) |
| 型番 | Xradia 620 Versa |
| キーワード | 非破壊３次元形状分析 X線CT μｍの分解能 |
| 仕様・特徴 | 空間分解能500 nm 最小ボクセルサイズ40 nm X線出力最大25 W（加速電圧30-160 kV) |
