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中電流イオン注入装置

設備ID	TU-105
分類	熱処理・ドーピング > イオン注入
装置名称	中電流イオン注入装置 (Middle-current ion implanter)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名	日新イオン機器 (Nissin)
型番	NH-20SR
キーワード	P、Bイオンの注入
仕様・特徴	サンプルサイズ：小片～4インチカセットtoカセット加速電圧：～160kV 最大電流：0.6mA