中電流イオン注入装置
最終更新日：2022年6月6日
| 設備ID | TU-105 |
|---|---|
| 分類 | 熱処理・ドーピング > イオン注入 |
| 設備名称 | 中電流イオン注入装置 (Middle-current ion implanter) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | 日新イオン機器 (Nissin) |
| 型番 | NH-20SR |
| キーワード | P、Bイオンの注入 |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：小片～4インチ カセットtoカセット 加速電圧：～160kV 最大電流：0.6mA |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-105 |
