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走査電子顕微鏡（SEM）

設備ID	RO-527
分類	走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡
装置名称	走査電子顕微鏡（SEM） (Field emission scanning electron microscope)
設置機関	広島大学
設置場所	CR西棟１F
メーカー名	日本電子 (JEOL Ltd.)
型番	JSM-IT800
キーワード
仕様・特徴	ショットキｰ電界放出型電子銃，10V～30kV、最高分解能0.5nm，