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低温プローバー [GRAIL-408-32-B]

設備ID NM-658
分類 デバイス特性 > 電気特性評価
装置名称 低温プローバー [GRAIL-408-32-B] (Low Temp. Prober [GRAIL-408-32-B])
設置機関 物質・材料研究機構 (NIMS)
設置場所 NIMS並木地区 MANA棟 513号室
メーカー名 ナガセテクノエンジニアリング株式会社 (Nagase Techno-Engineering Co., Ltd.)
型番 GRAIL-408-32-B
キーワード 電気測定、デバイス特性、半導体、温度特性、電気特性評価/ Electrical characterization
仕様・特徴 ・温度範囲:8~300 K
・サンプルサイズ:最大4 inch Φ
・マニピュレーター:4本
・半導体パラメータアナライザ:4系統
・高速パルスI-V測定
    低温プローバー [GRAIL-408-32-B]
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