室温プローバー [HMP-400]
| 設備ID | NM-657 |
|---|---|
| 分類 | デバイス特性 > 電気特性評価 |
| 装置名称 | 室温プローバー [HMP-400] (Room Temp. Prober [HMP-400]) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS並木地区 MANA棟 513号室 |
| メーカー名 | ハイソル株式会社 (HiSOL, Inc.) |
| 型番 | HMP-400 |
| キーワード | 電気測定、デバイス特性、半導体、電気特性評価/ Electrical characterization |
| 仕様・特徴 | ・サンプルサイズ：最大4 inch Φ ・マニピュレーター：4本 ・半導体パラメータアナライザ：IV 4系統, CV 1系統 ・試料台加熱機能 |
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