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メタル拡散炉

設備ID	TU-104
分類	熱処理・ドーピング > 熱処理、レーザーアニール熱処理・ドーピング > 酸化熱処理・ドーピング > 拡散
装置名称	メタル拡散炉 (Metal diffusion furnace)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 3Fクリーンルーム
メーカー名	光洋リンドバーグ (Koyo)
型番	Model270
キーワード	メタルや圧電基板等の多用途拡散
仕様・特徴	温度：最高1000℃