メタル拡散炉
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | TU-104 |
|---|---|
| 分類 |
熱処理・ドーピング > 熱処理、レーザーアニール 熱処理・ドーピング > 酸化 熱処理・ドーピング > 拡散 |
| 設備名称 | メタル拡散炉 (Metal diffusion furnace) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 3Fクリーンルーム |
| メーカー名 | 光洋リンドバーグ (Koyo) |
| 型番 | Model270 |
| キーワード | メタルや圧電基板等の多用途拡散 |
| 仕様・特徴 | 温度：最高1000℃ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-104 |
