触針式プロファイラー [Dektak 6M]
最終更新日：2024年2月29日
| 設備ID | NM-654 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > 段差計 |
| 設備名称 | 触針式プロファイラー [Dektak 6M] (Surface Profilometer [Dektak 6M]) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS並木地区 MANA棟 502号室 |
| メーカー名 | ブルカージャパン株式会社 (Bruker Japan K.K.) |
| 型番 | Dektak 6M |
| キーワード | 触針式、段差、計測、測定、段差計/ Step meter |
| 仕様・特徴 | ・垂直分解能：0.1 nm ・最大垂直測定幅：262 μm ・測定長さ：50 μm～30 mm |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NM-654 |
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