触針式プロファイラー [Dektak 6M]
設備ID | NM-654 |
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分類 | 膜厚・粒度測定 > 段差計 |
装置名称 | 触針式プロファイラー [Dektak 6M] (Surface Profilometer [Dektak 6M]) |
設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
設置場所 | NIMS並木地区 MANA棟 502号室 |
メーカー名 | ブルカージャパン株式会社 (Bruker Japan K.K.) |
型番 | Dektak 6M |
キーワード | 触針式、段差、計測、測定、段差計/ Step meter |
仕様・特徴 | ・垂直分解能:0.1 nm ・最大垂直測定幅:262 μm ・測定長さ:50 μm~30 mm |