FE-SEM+EDX [SU8230]
最終更新日：2024年2月29日
| 設備ID | NM-649 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 設備名称 | FE-SEM+EDX [SU8230] (FE-SEM+EDX [SU8230]) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS並木地区 MANA棟 506号室 |
| メーカー名 | 株式会社日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation) |
| 型番 | SU8230 |
| キーワード | SEM、観察、計測、元素分析、走査型電子顕微鏡/ Scanning electron microscopy |
| 仕様・特徴 | ・加速電圧: 0.5～30kV , ・最大倍率:1,000k ・検出器:SE/BSE ・分解能：0.8 nm (15 kV) , 1.1 nm (1 kV) ・最大試料サイズ：6インチ ・付加機能：EDX |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NM-649 |
![FE-SEM+EDX [SU8230]](data/facility_item/1687416938_11.jpg)