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拡散炉

設備ID TU-103
分類 熱処理・ドーピング > 拡散
装置名称 拡散炉 (Diffusion)
設置機関 東北大学
設置場所 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名 東京エレクトロン (TEL)
型番 XL-7
キーワード リン、ボロンのそれぞれについて、プリデポ、ドライブイン
仕様・特徴 サンプルサイズ：小片～6インチ
    拡散炉
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