水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #2]
最終更新日：2024年2月29日
| 設備ID | NM-638 |
|---|---|
| 分類 | 表面処理・洗浄 > プラズマ処理 |
| 設備名称 | 水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #2] (H2O Plasma Cleaner [AQ-500 #2]) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS並木地区 MANA棟 502号室 |
| メーカー名 | サムコ株式会社 (Samco Inc.) |
| 型番 | AQ-500 |
| キーワード | 還元、洗浄、接合、アッシング、親水化、プラズマ処理/ Plasma treatment |
| 仕様・特徴 | ・出力：50-250W ・プロセスガス：H2O,O2 ・最大試料サイズ：φ6 inch |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NM-638 |
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