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酸化炉(8)

設備ID	TU-102
分類	熱処理・ドーピング > 酸化
装置名称	酸化炉(8) (Oxidation)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名	光洋サーモシステム (Koyo)
型番	MT-10×8-A
キーワード	酸化膜形成用横型炉(8インチ) MEMSグレード
仕様・特徴	サンプルサイズ：小片～8インチドライ酸化、ウェット酸化（バブリング）酸化温度：最大1050℃