酸化炉(8)
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | TU-102 |
|---|---|
| 分類 | 熱処理・ドーピング > 酸化 |
| 設備名称 | 酸化炉(8) (Oxidation) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | 光洋サーモシステム (Koyo) |
| 型番 | MT-10×8-A |
| キーワード | 酸化膜形成用横型炉(8インチ) MEMSグレード |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：小片～8インチ ドライ酸化、ウェット酸化（バブリング） 酸化温度：最大1050℃ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-102 |
