イオンビーム・電子ビーム複合型精密加工分析装置
| 設備ID | KU-018 |
|---|---|
| 分類 |
微小加工装置 > 集束イオンビーム（FIB） 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 装置名称 | イオンビーム・電子ビーム複合型精密加工分析装置 (Precise Sample Preparation and Analysis System Combining Ion Beam and Electron Beam) |
| 設置機関 | 九州大学 |
| 設置場所 | 九州大学超顕微解析研究センターCE21棟 |
| メーカー名 | サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific) |
| 型番 | Helios 5 UX |
| キーワード | 微細加工、試料調製、組織解析 |
| 仕様・特徴 | FIBによる電顕試料の調製、モノクロメータSEMによる形態観察、EBSDによる方位解析、自動試料作製 |
