電子線蒸着装置（２）
最終更新日：2024年4月2日
| 設備ID | KT-258 |
|---|---|
| 分類 | 成膜装置 > 蒸着(抵抗加熱、電子線) |
| 設備名称 | 電子線蒸着装置（２） (Electron Beam Evaporator No.2) |
| 設置機関 | 京都大学 |
| 設置場所 | 京都大学 桂キャンパス |
| メーカー名 | (株)大阪真空機器製作所 (Osaka Vacuum, Ltd.) |
| 型番 | OVE-350 |
| キーワード | 金属成膜 蒸着（抵抗加熱、電子線）/ Evaporation (resistance heating and electron beam) |
| 仕様・特徴 | 実験用電子線蒸着装置。 ・基板サイズ：MAX Φ3"" ・電子銃：2kW3連E型電子銃（1m×3） ・温度：300℃（ハロゲンランプ） |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=KT-258 |
