共用設備検索

酸化炉

設備ID	TU-101
分類	熱処理・ドーピング > 酸化
装置名称	酸化炉 (Oxidation)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名	東京エレクトロン (TEL)
型番	XL-7
キーワード	酸化膜形成用横型炉半導体グレードとMEMSグレードの2本を運用
仕様・特徴	サンプルサイズ：小片～6インチドライ酸化、ウェット酸化（パイロジェニック）