酸化炉
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | TU-101 |
|---|---|
| 分類 | 熱処理・ドーピング > 酸化 |
| 設備名称 | 酸化炉 (Oxidation) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | 東京エレクトロン (TEL) |
| 型番 | XL-7 |
| キーワード | 酸化膜形成用横型炉 半導体グレードとMEMSグレードの2本を運用 |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：小片～6インチ ドライ酸化、ウェット酸化（パイロジェニック） |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-101 |
