微細形状測定機(段差計)
| 設備ID | HK-630 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > 段差計 |
| 装置名称 | 微細形状測定機(段差計) (Microfigure Measuring Instrument) |
| 設置機関 | 北海道大学 |
| 設置場所 | 創成科学研究棟クリーンルーム |
| メーカー名 | 株式会社 小坂研究所 (Kosaka Laboratory Ltd.) |
| 型番 | ET200A |
| キーワード | 段差計 |
| 仕様・特徴 | 最大サンプルサイズΦ160×厚さ52mm 再現性1σ 0.3nm以内 測定範囲Z：600μm X：100mm 分解能Z：0.1nm X：0.1μm 測定力10μN～500μN |
