卓上型ランプ加熱装置
設備ID | HK-628 |
---|---|
分類 | 熱処理・ドーピング > 熱処理、レーザーアニール |
装置名称 | 卓上型ランプ加熱装置 (Infrared Gold Image Furnace / RTA System Mini Lamp Annealer) |
設置機関 | 北海道大学 |
設置場所 | 創成科学研究棟クリーンルーム |
メーカー名 | アドバンス理工 (ADVANCE RIKO,Inc.) |
型番 | MILA-5000 |
キーワード | ランプ加熱装置、アニール |
仕様・特徴 | 温度範囲:RT ~ 1200℃ 試料寸法:角 20mm × 厚 2mm 加熱雰囲気:大気中、真空中、不活性ガス中 到達真空度:6.5Pa(RP使用、室温無負荷) |