球面露光装置
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | TU-068 |
|---|---|
| 分類 | リソグラフィ > 光露光（マスクレス、直接描画） |
| 設備名称 | 球面露光装置 (Maskless exposure system for ball) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 3Fクリーンルーム |
| メーカー名 | 東栄科学産業 (Toei Scientific Instruments) |
| 型番 | - |
| キーワード | 球面体へのマスクレス露光 |
| 仕様・特徴 | サンプル：球体（直径1.0、3.3mm） 最小パターン：1.5µmハーフピッチ アライメント精度：±5µm |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-068 |
