球面露光装置
設備ID | TU-068 |
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分類 | リソグラフィ > 光露光(マスクレス、直接描画) |
装置名称 | 球面露光装置 (Maskless exposure system for ball) |
設置機関 | 東北大学 |
設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 3Fクリーンルーム |
メーカー名 | 東栄科学産業 (Toei Scientific Instruments) |
型番 | - |
キーワード | 球面体へのマスクレス露光 |
仕様・特徴 | サンプル:球体(直径1.0、3.3mm) 最小パターン:1.5µmハーフピッチ アライメント精度:±5µm |