白色干渉搭載レーザ顕微鏡
| 設備ID | GA-014 |
|---|---|
| 分類 | 光学顕微鏡 > その他 |
| 装置名称 | 白色干渉搭載レーザ顕微鏡 (White light interference type Laser Microscope) |
| 設置機関 | 香川大学 |
| 設置場所 | 香川県科学技術研究センター |
| メーカー名 | キーエンス (KEYENCE) |
| 型番 | VK-X3100 |
| キーワード | 高度デバイスにおけるナノ・マイクロ・ミリの広範囲な寸法での形状観察等 |
| 仕様・特徴 | 倍率：×42～28,800 視野範囲：11?7398 μm 測定原理：レーザー共焦点、フォーカスバリエーション、白色干渉、分光干渉 レーザ光源波長：半導体レーザ404 nm |
