ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡群
最終更新日：2024年4月10日
| 設備ID | GA-013 |
|---|---|
| 分類 |
走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 成膜装置 > スパッタリング（スパッタ） 表面処理・洗浄 > プラズマ処理 |
| 設備名称 | ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡群 (Field emission scanning electron microscope) |
| 設置機関 | 香川大学 |
| 設置場所 | 香川大学 創造工学部 |
| メーカー名 | 日本電子, 日本電子, 日本電子, ディエナー (JEOL, JEOL, JEOL, diener) |
| 型番 | JSM-IT800SHL, JCM-7000, JFC-3000FC, Femto |
| キーワード | 高度デバイスにおける超微細構造の観察～微視的構造の組成分析評価等 走査型電子顕微鏡 Scanning electron microscopy |
| 仕様・特徴 | ・JSM-IT800SHL サンプルサイズ：～φ100mm 分解能：0.7nm(20kV)1.3nm(1kV) 倍率：×27～5,480,000(表示倍率) 加速電圧：0.01～30kV 分析機能：EDS ・JCM-7000 サンプルサイズ：～φ25mm(傾斜回転有)～φ80mm(傾斜回転無) 倍率：×10～100,000 加速電圧：5kV、10kV、15kV(3段) |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=GA-013 |
