終点検出器付き イオンミリング
最終更新日：2024年4月5日
| 設備ID | BA-025 |
|---|---|
| 分類 | 膜加工・エッチング > プラズマエッチング |
| 設備名称 | 終点検出器付き イオンミリング (Ion Milling System with an end-point detector) |
| 設置機関 | 筑波大学 |
| 設置場所 | 総合研究棟B |
| メーカー名 | 伯東 (hakuto) |
| 型番 | 10IBE-EPD_UoT-Y |
| キーワード | イオンミリング ドライエッチング 終点検出 絶縁体、半導体、金属、磁性体 プラズマエッチング/ Plasma etching |
| 仕様・特徴 | レシピに沿ってイオンミリングを実施。 [ビーム電源] 出力:100 V ~ 1400 V DC 電流範囲: 30 mA ~ 200 mA [終点検出装置] SIMS型四重極質量分析計終点検出装置 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=BA-025 |
