UV キュア装置
最終更新日：2022年6月6日
| 設備ID | TU-067 |
|---|---|
| 分類 | リソグラフィ > レジスト処理装置 |
| 設備名称 | UV キュア装置 (UV curing) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | ウシオ電機 (Ushio) |
| 型番 | UMA-802 |
| キーワード | レジストのキュア |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：4、6インチ カセットtoカセット |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-067 |
