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UV キュア装置

設備ID	TU-067
分類	リソグラフィ > レジスト処理装置
装置名称	UV キュア装置 (UV curing)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名	ウシオ電機 (Ushio)
型番	UMA-802
キーワード	レジストのキュア
仕様・特徴	サンプルサイズ：4、6インチカセットtoカセット

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