グロー放電分光分析装置
最終更新日：2024年4月5日
| 設備ID | WS-032 |
|---|---|
| 分類 | 表面分析（深さ方向元素分析を含む） > グローディスチャージ発光分析（GDOS） |
| 設備名称 | グロー放電分光分析装置 (Glow Discharge OpticalEmission Spectrometry) |
| 設置機関 | 早稲田大学 |
| 設置場所 | 早稲田大学121号館ナノテクノロジーリサーチセンター |
| メーカー名 | 株式会社堀場製作所 (HORIBA, Ltd.) |
| 型番 | GDA750 |
| キーワード | 元素分析（軽元素対応） グローディスチャージ発光分析（GDOS） |
| 仕様・特徴 | 軽元素（N, O, H等）の分析可能、分析範囲4mmφ以上、10mm□以上4"までのSi、ガラス基板 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=WS-032 |
