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半導体パラメータアナライザ

設備ID	TU-327
分類	デバイス特性 > 電気特性評価
装置名称	半導体パラメータアナライザ (Semiconductor parameter analyzer)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 3F実験室
メーカー名	Keysight (Keysight)
型番	B1500A SMU B1511B x4 GNDU
キーワード	半導体デバイスの特性評価
仕様・特徴	各種半導体集積回路特性評価