サブフェムト・インクジェット
最終更新日：2022年6月6日
| 設備ID | TU-267 |
|---|---|
| 分類 | その他加工装置 > インクジェット堆積装置 |
| 設備名称 | サブフェムト・インクジェット (Sub-femto inkjet) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 3F実験室 |
| メーカー名 | SIJテクノロジー (SIJテクノロジー) |
| 型番 | PR150-THU |
| キーワード | 低粘度から高粘度の材料のパターニング |
| 仕様・特徴 | 最小線幅：約5μm |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-267 |
