ウェハプローバ
最終更新日：2024年4月10日
| 設備ID | GA-011 |
|---|---|
| 分類 | デバイス特性 > 電気特性評価 |
| 設備名称 | ウェハプローバ (Wafer prober) |
| 設置機関 | 香川大学 |
| 設置場所 | 香川大学 創造工学部 |
| メーカー名 | ｶｰﾙ･ｽﾞｰｽ (SUSS MicroTec) |
| 型番 | PM5 |
| キーワード | 配線や電極等の導通/断線等の電気的な特性評価 電気特性評価 Electrical characterization |
| 仕様・特徴 | 対応基板サイズ：直径1インチ～150mm X・Y移動範囲（粗動）：最大150mm×150mm X・Y移動範囲（微動）：10mm×10mm Θ調整範囲：360° 高さ調整範囲：10mm 顕微鏡X・Y移動範囲：50mm×50mm |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=GA-011 |
