エリオニクス 130kV EB描画装置
設備ID | TU-064 |
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分類 | リソグラフィ > 電子線描画(EB) |
装置名称 | エリオニクス 130kV EB描画装置 (Elionix 130kV EB lithography) |
設置機関 | 東北大学 |
設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
メーカー名 | エリオニクス (Elionix) |
型番 | ELS-G125S |
キーワード | 最大加速電圧:130kV、最小描画パターン:10nm以下 |
仕様・特徴 | 最大加速電圧:130kV 最小描画線幅:10nm以下 |