エリオニクス 130kV EB描画装置
最終更新日：2022年6月6日
| 設備ID | TU-064 |
|---|---|
| 分類 | リソグラフィ > 電子線描画（EB） |
| 設備名称 | エリオニクス 130kV EB描画装置 (Elionix 130kV EB lithography) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | エリオニクス (Elionix) |
| 型番 | ELS-G125S |
| キーワード | 最大加速電圧：130kV、最小描画パターン：10nm以下 |
| 仕様・特徴 | 最大加速電圧：130kV 最小描画線幅：10nm以下 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-064 |
