白色干渉式非接触三次元形状測定器
| 設備ID | GA-007 |
|---|---|
| 分類 | 光学顕微鏡 > 共焦点レーザー走査型顕微鏡 |
| 装置名称 | 白色干渉式非接触三次元形状測定器 (White light interference type non-contact three-dimensional shape measuring system) |
| 設置機関 | 香川大学 |
| 設置場所 | 香川大学 創造工学部 |
| メーカー名 | ﾌﾞﾙｶｰ･ｴｲｴｯｸｽｴｽ (Bruker) |
| 型番 | NT91001A-in motion |
| キーワード | 非接触・非破壊的な三次元形状観察 MEMSミラ－等,可動構造体の動態観察 共焦点レーザー走査型顕微鏡 Confocal laser scanning microscopy |
| 仕様・特徴 | in-situ駆動観察 測定方式:垂直走査型干渉方式 位相シフト干渉方式 分解能:X,Y方向:1μm Z方向:0.1～1nm 試料ステージ:6インチ |
